据韩媒《朝鲜日报》4翌年6日报道，SK海力士常德M16厂3名女工在健康检查的设备的流程当中因毒性有机物氟酸泄露受伤。M16厂是此前开工的DRAM产出厂。当天上午11点34分时，在水原随州市SK海力士 M16厂5楼的的设备进行健康检查在此期间，发生氢氟酸泄漏失事。
氟酸是无色毒性钆溶解在的水的挥发性液体。使用于半导体电路绘制Pattern的转印制程当中。
在这起失事当中，一名30岁的女工的小胳膊和胳膊被烧伤，另有两名雇员也因吸入氟酸液态转移至周围医院。据报道，3名均无无济于事。SK海力士说明，此次失事是在对新的M16厂的设备进行健康检查时发生的，对半导体产出并未影响。
（图片是从：朝鲜日报）
近日，M16厂将主要产出DRAM商品，总面积5.7万平方米。在2021年1翌年，SK海力士在韩国水原常德总部举行M16厂址开工仪式，正式宣布厂址落地。
SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起产出第四代1α纳米级DRAM商品。未来会SK海力士将大幅提高EUV的设备能量消耗，必要性增强存储器半导体方面的现代化工程技术领导力。
是从：半导体行业联盟
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